大家好，今天小編關(guān)注到一個(gè)比較有意思的話題，就是關(guān)于地面保護(hù)膜厚度怎么量的問(wèn)題，于是小編就整理了1個(gè)相關(guān)介紹地面保護(hù)膜厚度怎么量的解答，讓我們一起看看吧。

怎樣測(cè)量薄膜厚度？

X射線反射法（XRR）是測(cè)量薄膜厚度，分析多層膜結(jié)構(gòu)的常用方法。

XRR適用于測(cè)量1-200nm厚度的薄膜，精度可以達(dá)到1-3埃。除了可以測(cè)量薄膜的厚度外，X射線反射法還可以確定薄膜的界面粗糙度。

X射線反射法測(cè)薄膜厚度使用2θ/ω掃描（如圖），入射角ω很小，散射角2θ設(shè)置為大約1°，掃描的時(shí)候，ω=θ從0°開(kāi)始掃描到10°左右，通過(guò)CCD我們能夠得到光子數(shù)（count）和角度（θ）的關(guān)系。

當(dāng)入射角ω很小的時(shí)候，相當(dāng)于是鏡面掠射，反射率差不多是1，隨著角度的增大，反射率迅速降低，由于薄膜的存在，X射線在薄膜的上下界面分別發(fā)生反射，然后疊加，干涉效應(yīng)會(huì)讓我們觀察到光子數(shù)和入射角之間有周期性的漲落（條紋），觀察到的條紋數(shù)越多，我們能夠計(jì)算出的薄膜的厚度也越精確。

到此，以上就是小編對(duì)于地面保護(hù)膜厚度怎么量的問(wèn)題就介紹到這了，希望介紹關(guān)于地面保護(hù)膜厚度怎么量的1點(diǎn)解答對(duì)大家有用。